컨택저항 오차 최소화를 위한 cross bridge Kelvin resistor (CBKR) 설계 및 측정

제목
컨택저항 오차 최소화를 위한 cross bridge Kelvin resistor (CBKR) 설계 및 측정
저자
김상완
발행일
2023-12-01
학회명
반도체공학회 종합학술대회