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초록
섭동이론인 형태 섭동과 물질 섭동을 적용하여 도파관 공진기를 사용한 마이크로파 근접장 현미경의 특성에 대해 연구하였다. 먼저, Ansoft사의 HFSS (high frequency structure simulator)를 사용하여 공진기 내부의 모드해석과 함께 공진기에서 선형 및 고리형 탐침에 대해 전력전달이 최대가 되고 탐침의 감도 향상을 기대할 수 있는 위치를 확인하였다. 더불어, 유전율이 서로 다른 유전체 시료 (teflon, glass, Al2Q3, LaAlO3, SrTiO3)에 대해 마이크로파 반사계수(S11)를 측정하였다. 측정결과로부터 유전율이 증가함에 따라 마이크로파 반사계수(S11)는 증가하고 공진주파수는 감소하였다. 이를 통해, 도파관 공진기를 이용한 마이크로파 근접장 현미경에서 선형 및 고리형 탐침의 위치에 따른 공진기의 감도 및 공진특성에 대해 알아보았다.
키워드
도파관 공진기; 섭동; 형태섭동; 물질 섭동; 마이크로파 근접장 현미경; 마이크로파 반사계수; S11; Near-Field Scanning Microwave Microscope (NSMM); Waveguide; Cavity Perturbation
- 제목
- 도파관 공진기를 이용한 마이크로파 근접장 현미경의 특성에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- A Study on Properties of a Near-Field Microwave Microscope Using a Waveguide Resonator
- 저자
- 김현; 김송희; 김주영; 이기진
- 발행일
- 2008-02
- 저널명
- 비파괴검사학회지
- 권
- 28
- 호
- 1
- 페이지
- 16 ~ 24