주름진 구조의 유전층을 활용한 정전 용량 방식의 압력 센서

제목
주름진 구조의 유전층을 활용한 정전 용량 방식의 압력 센서
저자
윤광석
발행일
2018-02-06
학회명
25회 한국반도체학술대회