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고해상도 CFD 해석 기반 웨이퍼 하부 분사 세정의 약액 손실 메커니즘 분석 및 최소화

제목
고해상도 CFD 해석 기반 웨이퍼 하부 분사 세정의 약액 손실 메커니즘 분석 및 최소화
저자
강성원
발행일
2024-11-06
학회명
대한기계학회 2024 추계학술대회

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