미세액적의 분사를 이용한 박막 패터닝 공정에 대한 수치적 연구

제목
미세액적의 분사를 이용한 박막 패터닝 공정에 대한 수치적 연구
저자
손기헌
발행일
2008-03-26
학회명
5회 유체공학 학술대회