Self-assembly기법에 의한 SiO₂/Si 기판의 화학적 액상 증착 및 표면 특성에 관한 연구

제목
Self-assembly기법에 의한 SiO₂/Si 기판의 화학적 액상 증착 및 표면 특성에 관한 연구
저자
오세용
발행일
2000-05-01
학회명
2000년 춘계공업화학회