회전하는 웨이퍼 위의 세정액 발달 및 분리 현상에 대한 시뮬레이션 해석

제목
회전하는 웨이퍼 위의 세정액 발달 및 분리 현상에 대한 시뮬레이션 해석
저자
강성원
발행일
2021-11-04
학회명
대한기계학회 2021년 학술대회