Fabrication of Silicon Nanowire Pattern Using Nanoimprint Lithography for the Application to Biosensor

제목
Fabrication of Silicon Nanowire Pattern Using Nanoimprint Lithography for the Application to Biosensor
저자
오병근
발행일
2008-10-24
학회명
2008년 한국화학공학회 가을 총회 및 학술대회