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Effect of insulator layers and substrate dopant types on HfO2-based metalferroelectric- insulator-silicon capacitors
- 제목
- Effect of insulator layers and substrate dopant types on HfO2-based metalferroelectric- insulator-silicon capacitors
- 저자
- 양상모
- 발행일
- 2021-10-22
- 학회명
- 2021년 한국물리학회 가을학술논문발표회