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물리·화학적 증착에 의한 SiO2/Si 기판의 표면 개질에 관한 연구

제목
물리·화학적 증착에 의한 SiO2/Si 기판의 표면 개질에 관한 연구
저자
오세용
발행일
1999-10-01
학회명
99 추계 공업화학회

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