고분자 주쇄에 광분해성 Moiety를 갖는 포토레지스트 제조 및 광특성 조사

제목
고분자 주쇄에 광분해성 Moiety를 갖는 포토레지스트 제조 및 광특성 조사
저자
오세용
발행일
1998-04-01
학회명
98춘계 고분자학회