ScholarWorks@서강대학교

상세 보기

정밀 광픽업 스캔 장치를 이용한 미소구조물의 표면 측정

제목
정밀 광픽업 스캔 장치를 이용한 미소구조물의 표면 측정
저자
이승엽
발행일
2009-05-22
학회명
2009년도 대한기계학회 바이오공학부문 춘계학술대회

ScholarWorks@서강대학교

04107 서울특별시 마포구 백범로 35 (신수동) 서강대학교 Tel. 02-705-8114

COPYRIGHT © 서강대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.