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주사팀침현미경을 이용한 Si 표면 국부 산화피막 형성시 선높이에 대한 탐침 전위,편향셋포인트, 탐침 속도의 영향
Local Anodic on Si surface Using Scanning Probe Microscope; Effects of Tip Voltage, deflection Setpoint and Tip Velocity on Line Height
- 신운섭;
- 김창환;
- 최정우
- 제목
- 주사팀침현미경을 이용한 Si 표면 국부 산화피막 형성시 선높이에 대한 탐침 전위,편향셋포인트, 탐침 속도의 영향
- 제목 (타언어)
- Local Anodic on Si surface Using Scanning Probe Microscope; Effects of Tip Voltage, deflection Setpoint and Tip Velocity on Line Height
- 저자
- 신운섭; 김창환; 최정우
- 발행일
- 2006-05
- 저널명
- 전기화학회지
- 권
- 9
- 호
- 2
- 페이지
- 29 ~ 33