기계적 주파수 향상 방법을 이용한 저주파 진동 에너지 포집소자

제목
기계적 주파수 향상 방법을 이용한 저주파 진동 에너지 포집소자
저자
윤광석
발행일
2010-04-01
학회명
제12회 한국 MEMS 학술대회