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정전용량 변위 센서를 이용한 촉각 액추에이터 소자 피드백 제어

제목
정전용량 변위 센서를 이용한 촉각 액추에이터 소자 피드백 제어
저자
윤광석
발행일
2014-04-03
학회명
제16회 한국 MEMS 학술대회

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