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원자외선에 의한 자기조립 단분자막의 서브마이크론 패턴 제작과 이를 이용한 생물 포토다이오드의 어레이 제작에 관한 연구
Submicron Patterning of Self-assembled Monolayer with a Deep UV Light and Fabrication of Biomolecular Photodiode Array
- 오세용;
- 최형석;
- 박제균;
- 지항석
- 제목
- 원자외선에 의한 자기조립 단분자막의 서브마이크론 패턴 제작과 이를 이용한 생물 포토다이오드의 어레이 제작에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- Submicron Patterning of Self-assembled Monolayer with a Deep UV Light and Fabrication of Biomolecular Photodiode Array
- 저자
- 오세용; 최형석; 박제균; 지항석
- 발행일
- 2004-11
- 저널명
- 공업화학
- 권
- 15
- 호
- 7
- 페이지
- 803 ~ 807