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RF 스퍼터를 이용하여 증착된 두꺼운 ZnO 박막의 구조 및 결정 특성

제목
RF 스퍼터를 이용하여 증착된 두꺼운 ZnO 박막의 구조 및 결정 특성
저자
윤광석
발행일
2026-03-26
학회명
마이크로나노시스템학회 춘계학술대회

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